熱加工としての電子ビーム精密微細加工装置の開発に関する研究
書誌事項
- タイトル別名
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- ネツ カコウ ト シテ ノ デンシ ビーム セイミツ ビサイ カコウ ソウチ
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抄録
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
収録刊行物
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- 電子技術総合研究所研究報告 / 電子技術総合研究所 編
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電子技術総合研究所研究報告 / 電子技術総合研究所 編 (873), p1-133, 1986-10
つくば : 電子技術総合研究所
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1523106605560828160
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- NII論文ID
- 40002544506
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- NII書誌ID
- AN00152924
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- ISSN
- 03669106
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- NDL書誌ID
- 3130809
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles