モノシランのグロー放電分解によるa-Si:Hの成長表面への可視光の照射効果
Bibliographic Information
- Other Title
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- モノシラン ノ グロー ホウデン ブンカイ ニ ヨル a Si H ノ セイチ
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Abstract
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
Journal
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- 電子技術総合研究所彙報 / 電子技術総合研究所 編
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電子技術総合研究所彙報 / 電子技術総合研究所 編 54 (6), p623-629, 1990-06
つくば : 電子技術総合研究所
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1523106605590230400
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- NII Article ID
- 40002543514
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- NII Book ID
- AN00152902
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- ISSN
- 03669092
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- NDL BIB ID
- 3678664
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
