Development of Fine pitch Negative Tone Resist for Electro-Plating
Bibliographic Information
- Other Title
-
- 微細配線形成向け電解めっき用ネガ型レジストの開発
- ビサイ ハイセン ケイセイ ムケ デンカイメッキ ヨウ ネガガタ レジスト ノ カイハツ
Search this article
Journal
-
- JSRテクニカルレビュー = JSR technical review / JSR株式会社研究開発部 編
-
JSRテクニカルレビュー = JSR technical review / JSR株式会社研究開発部 編 (122), 8-12, 2015-03
東京 : JSR広報部
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1523106605853744768
-
- NII Article ID
- 40020645851
-
- NII Book ID
- AA11131414
-
- ISSN
- 09167129
-
- NDL BIB ID
- 026857447
-
- Text Lang
- en
-
- NDL Source Classification
-
- ZP17(科学技術--化学・化学工業--高分子化学・高分子化学工業--ゴム・プラスチックス)
-
- Data Source
-
- NDL
- CiNii Articles
