スパッタ法による強誘電体薄膜形成技術
書誌事項
- タイトル別名
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- スパッタホウ ニ ヨル キョウ ユウデンタイ ハクマク ケイセイ ギジュツ
- 特集 共用施設によるナノ・マイクロ加工技術とイノベーション
- トクシュウ キョウヨウ シセツ ニ ヨル ナノ ・ マイクロ カコウ ギジュツ ト イノベーション
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収録刊行物
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- 金属
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金属 87 (12), 1009-1015, 2017-12
東京 : アグネ技術センター
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1523388080651318784
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- NII論文ID
- 40021392354
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- NII書誌ID
- AN00272132
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- ISSN
- 03686337
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- NDL書誌ID
- 028676683
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles