Arガスクラスターを用いた低損傷有機物スパッタリング
書誌事項
- タイトル別名
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- Ar ガスクラスター オ モチイタ テイソンショウ ユウキブツ スパッタリング
- 表面分析研究会 第35回研究会 講演資料
- ヒョウメン ブンセキ ケンキュウカイ ダイ35カイ ケンキュウカイ コウエン シリョウ
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収録刊行物
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- Journal of surface analysis / 表面分析研究会 編
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Journal of surface analysis / 表面分析研究会 編 17 (2), 2010-12
東京 : 表面分析研究会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1523951029559425024
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- NII論文ID
- 40017654094
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- NII書誌ID
- AA11448771
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- ISSN
- 13411756
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- NDL書誌ID
- 10957186
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM35(科学技術--物理学)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles