次世代半導体リソグラフィとしてのナノインプリント技術の進展
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- ジセダイ ハンドウタイ リソグラフィ ト シテ ノ ナノインプリント ギジュツ ノ シンテン
- 特集 ナノテクノロジー
- トクシュウ ナノテクノロジー
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- 月刊トライボロジー
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月刊トライボロジー 29 (1), 16-19, 2015-01
東京 : 新樹社
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1523951029934366208
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- NII Article ID
- 40020325554
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- NII Book ID
- AN10221852
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- ISSN
- 09146121
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- NDL BIB ID
- 026033528
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN11(科学技術--機械工学・工業)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles