大口径、低欠陥SiC単結晶成長の現状
書誌事項
- タイトル別名
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- ダイコウケイ テイケッカン SiC タンケッショウ セイチョウ ノ ゲンジョウ
- 特集 ハードエレクトロニクス--超低損失パワーデバイス技術 ; 超低損失パワーデバイスの展望
- トクシュウ ハード エレクトロニクス チョウテイ ソンシツ パワー デバイス ギジュツ ; チョウテイ ソンシツ パワー デバイス ノ テンボウ
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説明
記事種別: 翻訳
収録刊行物
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- FEDジャーナル / 新機能素子研究開発協会 [編]
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FEDジャーナル / 新機能素子研究開発協会 [編] 11 (2), 7-10, 2000
東京 : 新機能素子研究開発協会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1523951030405241344
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- NII論文ID
- 40004956820
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- NII書誌ID
- AN10190078
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- ISSN
- 09182772
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- NDL書誌ID
- 5468932
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- データソース種別
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- NDLサーチ
- CiNii Articles