圧電MEMS用PZTゾルゲル液およびそれを用いた工業用成膜技術の開発
書誌事項
- タイトル別名
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- アツデン MEMSヨウ PZT ゾルゲルエキ オヨビ ソレ オ モチイタ コウギョウヨウセイマク ギジュツ ノ カイハツ
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説明
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 雑誌
収録刊行物
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- Material stage / 技術情報協会 編
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Material stage / 技術情報協会 編 14 (8), 42-44, 2014-11
東京 : 技術情報協会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1523951030841895936
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- NII論文ID
- 40020259260
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- NII書誌ID
- AA1267241X
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- ISSN
- 13463926
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- NDL書誌ID
- 025901865
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM16(科学技術--科学技術一般--工業材料・材料試験)
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- データソース種別
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- NDLサーチ
- CiNii Articles