次世代測定技術:CD計測は32nm以降に対応
書誌事項
- タイトル別名
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- ジセダイ ソクテイ ギジュツ CD ケイソク ワ 32nm イコウ ニ タイオウ
- CD metrology confidently looks beyond 32 nm
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収録刊行物
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- Semiconductor international. 日本版
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Semiconductor international. 日本版 5 (8), 16-21, 2008-08
東京 : リード・ビジネス・インフォメーション