化学修飾ナノダイヤモンドを用いた銅薄膜表面の化学機械研磨
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- Other Title
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- カガク シュウショク ナノダイヤモンド オ モチイタ ドウ ハクマク ヒョウメン ノ カガク キカイ ケンマ
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Journal
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- New diamond = ニューダイヤモンド / ニューダイヤモンドフォーラム 編
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New diamond = ニューダイヤモンド / ニューダイヤモンドフォーラム 編 30 (2), 25-27, 2014-04
東京 : ニューダイヤモンドフォーラム
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1524232503261600256
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- NII Article ID
- 40020087586
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- NII Book ID
- AN1020856X
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- ISSN
- 13404792
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- NDL BIB ID
- 025509805
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZP9(科学技術--化学・化学工業--無機化学・無機化学工業--セラミックス・窯業)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles