A Metrological Electron Microscope System for Microfeatures of Very Large Scale Integrated Circuits
書誌事項
- タイトル別名
-
- Metrological Electron Microscope System
この論文をさがす
抄録
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
収録刊行物
-
- 計量研究所報告
-
計量研究所報告 39 (3), p491-495, 1990-07
つくば : 工業技術院計量研究所
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1524232504644474496
-
- NII論文ID
- 40000974084
-
- NII書誌ID
- AN00073034
-
- ISSN
- 03686051
-
- NDL書誌ID
- 3674238
-
- 本文言語コード
- ja
-
- NDL 雑誌分類
-
- ZM15(科学技術--科学技術一般--測定・測定器)
-
- データソース種別
-
- NDL
- CiNii Articles