層流素子抵抗体の圧力測定を利用した高精度高速応答マスフローモジュールの開発--CRITERION D200シリーズ
書誌事項
- タイトル別名
-
- ソウリュウ ソシ テイコウタイ ノ アツリョク ソクテイ オ リヨウ シタ コウセイド コウソク オウトウ マスフローモジュール ノ カイハツ CRITERION D200 シリーズ
- 特集 HORIBA STECの製品と技術
- トクシュウ HORIBA STEC ノ セイヒン ト ギジュツ
この論文をさがす
収録刊行物
-
- Readout : Horiba technical reports
-
Readout : Horiba technical reports (36), 18-21, 2010-05
京都 : 堀場製作所
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1524232505155260032
-
- NII論文ID
- 40017251175
-
- NII書誌ID
- AN1019009X
-
- ISSN
- 09159916
-
- NDL書誌ID
- 10796852
-
- 本文言語コード
- ja
-
- NDL 雑誌分類
-
- ZM15(科学技術--科学技術一般--測定・測定器)
-
- データソース種別
-
- NDL
- CiNii Articles