303 大気中での熱処理におけるTiN薄膜の酸化に関する検討(薄膜の非破壊評価,非破壊材料・強度評価の応用,オーガナイスドセッション3)

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  • 303 Influence of oxidation at heat-treatment in the atmosphere of TiN film depodited by arc ion plating

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