8 低温プラズマプロセス中の有機シリコン分子の挙動(プラズマの基礎・応用研究最前線(中部地区若手・中堅研究者の挑戦))
書誌事項
- タイトル別名
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- Behavior of Organosilicon Molecules in Low-temperature Plasma Processes
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収録刊行物
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- プラズマ・核融合学会年会予稿集
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プラズマ・核融合学会年会予稿集 42-, 2002-11-20
プラズマ・核融合学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1543950420026423680
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- NII論文ID
- 110003745609
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- NII書誌ID
- AN10117056
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- NDL-Digital
- CiNii Articles