Indentation-Induced Solid-Phase Crystallization of SiGe on Insulator
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- TOKO Kaoru
- Kyushu University
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- SADOH Taizoh
- Kyushu University
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- MIYAO Masanobu
- Kyushu University
Bibliographic Information
- Other Title
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- 絶縁膜上における非晶質SiGeのインデント誘起固相成長
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Journal
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- 電気学会研究会資料. EFM, 電子材料研究会
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電気学会研究会資料. EFM, 電子材料研究会 2008 (24), 31-34, 2008-09-27
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1570009751003197952
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- NII Article ID
- 10025649368
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- NII Book ID
- AN10442556
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- CiNii Articles