EBテスタによるメモリの故障解析

  • 浜田 弘幸
    日本電気材料部品分析評価センター信頼性評価部
  • 辻出 徹
    日本電気材料部品分析評価センター信頼性評価部
  • 中泉 一雄
    日本電気材料部品分析評価センター信頼性評価部
  • 菱井 利祐
    日本電気材料部品分析評価センター信頼性評価部
  • 斎藤 信一
    内藤電誠工業株式会社第2電子事業部

書誌事項

タイトル別名
  • Memory Fault Analysis using an EB Tester

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説明

メモリLSIの故障解析において、EBテスタを用いてパッシベーション膜が有る場合でも、良好な電位像を得る方法を開発し、故障箇所を効果的に絞り込む手順により、短時間で故障原因をつきとめることが出来るようになった。この手法を用いて実際に故障品の解析も行った。製品の開発段階から量産の各段階において、歩留り向上および信頼性向上に有効である。

収録刊行物

キーワード

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1570009752536821504
  • NII論文ID
    110003302215
  • NII書誌ID
    AN10013243
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • CiNii Articles

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