Contouring of polished single-crystal silicon plates by wire electrical discharge machining
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- TAKINO Hideo
- Nikon Corporation
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- ICHINOHE Toshimitsu
- Nikon Corporation
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- TANIMOTO Katsunori
- Nikon Corporation
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- NOMURA Kazushi
- Nikon Corporation
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- KUNIEDA Masanori
- Tokyo University of Agriculture & Technology
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収録刊行物
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- Precision engineering
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Precision engineering 31 (4), 358-363, 2007-10-01
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1570291225512166656
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- NII論文ID
- 10019852944
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- NII書誌ID
- AA11537543
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- ISSN
- 01416359
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- 本文言語コード
- en
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- データソース種別
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- CiNii Articles
