Cr-N ひずみゲージ薄膜のトルクセンサ応用
書誌事項
- タイトル別名
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- Torque sensor application of strain sensitive Cr-N thin films
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収録刊行物
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- 電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会
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電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会 2013 (20), 55-60, 2013-08-08
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1570854176170665216
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- NII論文ID
- 10031193604
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- NII書誌ID
- AA11486078
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- CiNii Articles
