半導体レーザの断面TEM観察:FIB試料作製法の検討
書誌事項
- タイトル別名
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- TEM observation of the cross section of semiconductor laser diode chips : Examination of Focused Ion Beam technique
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収録刊行物
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- 電子顕微鏡
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電子顕微鏡 34 230-, 1999-05-01
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1571135649251801216
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- NII論文ID
- 10004539174
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- NII書誌ID
- AN00145000
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- ISSN
- 04170326
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- CiNii Articles