Local oxidation of silicon and its application in semiconductor device technology
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収録刊行物
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- Philips Research Reports
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Philips Research Reports 25 (2), 118-132, 1970
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1572261549368729472
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- NII論文ID
- 10006491874
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- NII書誌ID
- AA00772698
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- データソース種別
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- CiNii Articles