4218 部分層流指揮クリーンルームにおける気流・清浄度制御(その1) : 三つのタイプのクリーントンネルにおける粒子濃度とウエハ付着粒子数の比較
書誌事項
- タイトル別名
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- Air Flow and Contamination Control in a Clean Tunnel Type Clean Room ( Part II ) : Comparison of Particle Concentration and Number of Particle on a Wafer in Three Types Clean Tunnel
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収録刊行物
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- 学術講演梗概集. D, 環境工学
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学術講演梗概集. D, 環境工学 (1986), 435-436, 1986-07-25
日本建築学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1572543026859776128
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- NII論文ID
- 110004171495
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- NII書誌ID
- AN10031052
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- ISSN
- 09150145
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- CiNii Articles