PN接合逆バイアス電流に起因した劣化現象

  • 登川 一郎
    松下電子工業(株)半導体事業本部 品質技術部

書誌事項

タイトル別名
  • Degradation Caused by Reverse Biased Current in PN Junction

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説明

PN接合への逆バイアス電圧印加時に流れる電流は、アバランシェプレークダウン電流、トンネル電流、逆方向飽和電流に分類される。各々の電流は半導体製品の信頼性仁影響を与える場合がある。(1) アバランシェブレークダウンが発生するような使用方法では、ブレークダウンの位置が重要である。(2) 微細構造においてはアバランシェブレークダウンの他にトンネル電流も考慮する必要がある。(3) 高耐圧構造では逆方向飽和電流の影響を受け易いため、素子構造を十分に検討する必要がある。

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1572543027326412672
  • NII論文ID
    110003301734
  • NII書誌ID
    AN10013243
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • CiNii Articles

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