MEMS based thin film 2 GHz resonator for CMOS integration
Abstract
科研費報告書収録論文(課題番号:13305010・基盤研究(A)(2) ・H13～H15/研究代表者:江刺, 正喜/ナノメートルの精度で動く分布型マイクロ・ナノマシン )
Journal
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- 2003 IEEE MTT-S International Microwave Symposium Digest
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2003 IEEE MTT-S International Microwave Symposium Digest (3), 1797-1800, 2003
Institute of Electrical and Electronics Engineers
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1572824502471636352
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- NII Article ID
- 120002338944
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- ISSN
- 0149645X
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- Web Site
- http://hdl.handle.net/10097/48062
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- Text Lang
- en
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- Data Source
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- CiNii Articles