AMLCD用ガラス基板の耐薬品性 : 特にフッ酸およびバッファードフッ酸による浸食について

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タイトル別名
  • Chemical Durability of AMLCD Glass Substrate. : Corrosion of Glass Substrates by Hydrofluoric and Buffered Hydrofluoric Acids.

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AMLCD用無アルカリガラス基板の耐薬品性を塩酸、硫酸、硝酸、フッ酸、バッファードフおよび水酸化ナトリウムの各薬液を用いて調べた。ガラス基板はBHF処理後にくもりを生じるこれは微小な突起によることが顕微鏡観察によりわかった。突起の発生防止に有効なBHFの組ガラス基板の洗浄条件等が明らかになった。

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1573105977229964288
  • NII論文ID
    110003268948
  • NII書誌ID
    AN10060775
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • CiNii Articles

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