フラッシュメモリ信頼性におけるフローティングゲート形状の影響

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タイトル別名
  • Effects of Floating Gate Structure on Reliability in Flash Memories

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説明

本研究では、低電力動作可能で大容量、高信頼なコンタクトレス型フラッシュメモリを実現するための、メモリセルのフローティングゲート形状を明らかにした。コンタクトレスアレイ方式ではフローティングゲート端部にバーズビークが侵入するため、書き換え耐性やディスターブ耐性が低下する。フローティングゲートを窒化膜で覆い、バーズビークの侵入を抑えることにより、上記耐性の低下が防止できる。

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1573105977274320640
  • NII論文ID
    110003310326
  • NII書誌ID
    AN10013254
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • CiNii Articles

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