ダブルゲートSOI-MOSFETのスケーリング理論に基づく伝搬遅延時間の解析
書誌事項
- タイトル別名
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- Analysis of Propagation Delay Time for Double-gate SOI-MOSFETs Based on a Scaling Theory
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説明
スケーリング理論に従って、サブスレショルド係数を理想値に保ったまま、ダブルゲート(DG)SOI-MOSFETを縮少していった時に得られる伝搬遅延時間(t_pd>)の評価を行なった。DGSOI-MOSFETの実験データより導出した移動度モデルを組み込んだデバイス回路結合シミュレータを用いてt_pd>の解析を行ない、ゲート長0.1μmで6.2ps、0.05μmで最小値3.4psという値を得た。この結果はDGSOI-MOSFETがバルクMOSFETのスケーリング限界を越え、ゲート長0.1μm以下で高速動作するデバイス構造であることを裏付けるものである。
収録刊行物
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- 電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス
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電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス 93 (217), 1-6, 1993-09-17
一般社団法人電子情報通信学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1573387452170332544
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- NII論文ID
- 110003200353
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- NII書誌ID
- AN10012954
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- CiNii Articles