高配向CoFe系膜の軟磁性
書誌事項
- タイトル別名
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- Soflness of Co-Fe based films with high crystallographic orientation
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説明
スパッタCo_90>Fe_10>系膜の結晶配向と軟磁性の関係を調べた。Co_90>Fe_10>膜は、fcc相とhcp相が混在し良好な結晶配向を示さず、数百A, m以上のHcを示した。A1を2at.%添加すると、fcc相(111)面配向が促進され、80A/m以下の低Hcを示した。Taを8at.%添加するとhcp相(001)面配向が促進され、80A/m以下の低Hcを示した。
収録刊行物
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- 電子情報通信学会技術研究報告. MR, 磁気記録
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電子情報通信学会技術研究報告. MR, 磁気記録 93 (236), 1-6, 1993-09-17
一般社団法人電子情報通信学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1573668927173886080
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- NII論文ID
- 110003186264
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- NII書誌ID
- AN10013050
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- CiNii Articles
