GaAs(lll)A基板上AlGaAs/GaAsダブルヘテロ構造LDの作製
書誌事項
- タイトル別名
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- Fabrication of AlGaAs/GaAs Double-Hetero structure LD on GaAs(lll) A Substrate
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説明
MBE法によりSi単一ドーパントのみを用いて、p型及びn型の伝導型の制御を行い、(lll)A面GaAs基板上にAlGaAs, GaAsダブルヘテロ構造LDを成長した。そして、このDH構造素子を酸化膜ストライプ構造(ストライプ幅10μm)に加工した。このDH構造素子を室温連続動作させたところ、注入電流150mA程度において、30nWの発光を確認した。さらに、平坦なAlGaAs/GaAs量子界面が制御性良く成長されているため(lll)A面GaAs基板上にSi単一ドーパントのみで、レーザ構造が作製可能なことが明らかになった。
収録刊行物
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- 電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス
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電子情報通信学会技術研究報告. ED, 電子デバイス 94 (47), 37-42, 1994-05-20
一般社団法人電子情報通信学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1573950402124047488
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- NII論文ID
- 110003200791
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- NII書誌ID
- AN10012954
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- CiNii Articles