Effect of Magnetic Mirror Plasma Confinement on Microwave Electron Cyclotron Resonance/D.C. Discharge for Low Pressure Sputtering(Physics, Process, Instrument & Measurements)

詳細情報 詳細情報について

• CRID

  1573950402361922048

• NII論文ID

  120004846714

• NII書誌ID

  AA00867058

• ISSN

  03874508

• Web Site

  http://hdl.handle.net/11094/12529

• 本文言語コード

  en

• データソース種別

  • CiNii Articles