Radio Frequency Excitation of Plasmas for a Plasma-Sputter-Type Negative Ion Source

詳細情報 詳細情報について

• CRID

  1574231877413329536

• NII論文ID

  120005961928

• ISSN

  09171185

• Web Site

  http://hdl.handle.net/10655/1091

• 本文言語コード

  en

• データソース種別

  • CiNii Articles