CaF₂とコスパッタ成膜したIn₂O₃透明導電薄膜の光学的および電気的特性評価

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  • CaF ₂ ト コスパッタセイマク シタ In ₂ O ₃ トウメイ ドウデン ハクマク ノ コウガクテキ オヨビ デンキテキ トクセイ ヒョウカ
  • Electrical and Optical Characterization of In₂O₃ Transparent Conductive Film Co-sputtered with CaF₂
  • 電子材料研究会 フレキシブル素子応用に向けた新規薄膜電子材料の合成と評価
  • デンシ ザイリョウ ケンキュウカイ フレキシブル ソシ オウヨウ ニ ムケタ シンキ ハクマク デンシ ザイリョウ ノ ゴウセイ ト ヒョウカ

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