Ultraviolet-induced wavelength trimming of BCB-buried athermal Si slot wavelength filters

Yuki Atsumi, Takeshi Sifer, Yusuke Hayashi, Shigehisa Arai, Nobuhiko Nishiyama, JoonHyun Kang

doi:10.1109/cleopr.2013.6600264

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Ultraviolet-induced wavelength trimming of BCB-buried athermal Si slot wavelength filters

DOI

Yuki Atsumi
Takeshi Sifer
Yusuke Hayashi
Shigehisa Arai
Nobuhiko Nishiyama
JoonHyun Kang

書誌事項

公開日: 2013-06-01

DOI

10.1109/cleopr.2013.6600264

公開者: IEEE

説明

Wavelength trimming for athermal Si slot wavelength filter embedded with BCB using DUV exposure was demonstrated. The total shift of 1.21 nm was obtained after exposing 14 J/cm2 of DUV light without any degradation in athermal and propagation characteristics.