Molecular dynamics simulation of the plasma-surface interaction during plasma etching processes

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Bibliographic Information

Title
Molecular dynamics simulation of the plasma-surface interaction during plasma etching processes
Other Title
  • プラズマ エッチング プロセス ニ オケル プラズマ - ヒョウメン ソウゴ サヨウ ノ ブンシ ドウリキガクテキ ケイサン ニ ヨル ケンキュウ
  • プラズマエッチングプロセスにおけるプラズマー表面相互作用の分子動力学的計算による研究
Author
Ohta, Hiroaki
Alias Name
  • 太田, 裕朗
  • オオタ, ヒロアキ
University
Kyoto University
Types of degree
博士(エネルギー科学)
Grant ID
甲第11119号
Degree year
2004-07-23

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Description

博士論文

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