アリル基を有するシリコン含有ポリマーの合成およびそれらのネガ型フォトレジストへの応用

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Title
アリル基を有するシリコン含有ポリマーの合成およびそれらのネガ型フォトレジストへの応用
Other Title
  • アリルキ オ ユウスル シリコン ガンユウ ポリマー ノ ゴウセイ オヨビ ソレラ ノ ネガガタ フォトレジスト エ ノ オウヨウ
Author
斉郷, 和秀
Alias Name
  • サイゴウ, カズヒデ
University
東京工業大学
Types of degree
工学博士
Grant ID
乙第1944号
Degree year
1989-05-31

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博士論文

資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文
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