アリル基を有するシリコン含有ポリマーの合成およびそれらのネガ型フォトレジストへの応用
書誌事項
- タイトル
- アリル基を有するシリコン含有ポリマーの合成およびそれらのネガ型フォトレジストへの応用
- タイトル別名
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- アリルキ オ ユウスル シリコン ガンユウ ポリマー ノ ゴウセイ オヨビ ソレラ ノ ネガガタ フォトレジスト エ ノ オウヨウ
- 著者
- 斉郷, 和秀
- 著者別名
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- サイゴウ, カズヒデ
- 学位授与大学
- 東京工業大学
- 取得学位
- 工学博士
- 学位授与番号
- 乙第1944号
- 学位授与年月日
- 1989-05-31
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説明
博士論文
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 博士論文
博士論文
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1920302384657990656
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- NII論文ID
- 500001989237
- 500000069591
- 500001641000
- 500001387114
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- NDL書誌ID
- 000000233905
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- データソース種別
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- NDLサーチ