Improving the processing efficiency of femtosecond laser sulfur hyperdoping of silicon by diffractive beam shaping
書誌事項
- 公開日
- 2023-09
- DOI
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- 10.2961/jlmn.2023.02.2003
- 公開者
- Japan Laser Processing Society
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説明
収集根拠 : オンライン資料収集制度
資料形態 : テキストデータ
コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会
収録刊行物
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- Journal of laser micro/nanoengineering
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Journal of laser micro/nanoengineering 18(2) 2023-09
Japan Laser Processing Society
