赤外吸収分光法を用いたDLC薄膜成長過程の表面反応解析
Bibliographic Information
- Title
- 赤外吸収分光法を用いたDLC薄膜成長過程の表面反応解析
- Author
- 柴田泰充
Journal
-
- 応物シンポジウム 次世代半導体のための新材料デポジション&エッチングプロセス 講演資料集
-
応物シンポジウム 次世代半導体のための新材料デポジション&エッチングプロセス 講演資料集 66-67, 2006
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1010000781820657673
-
- Article Type
- journal article
-
- Data Source
-
- KAKEN