イオンミキシング蒸着法によるBN薄膜の作製と特性評価(続報)
書誌事項
- タイトル
- イオンミキシング蒸着法によるBN薄膜の作製と特性評価(続報)
- 著者
- 栗原朗優, 花木 聡, 山下正人, 内田 仁
収録刊行物
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- 第14回プラズマ応用科学会研究講演会プロシーディング Vol.16 March
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第14回プラズマ応用科学会研究講演会プロシーディング Vol.16 March 107-110, 2007