マイクロサイズ曲げ試験によるMEMS用厚膜レジストSU-8の塑性変形挙動
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- ISHIYAMA Chiemi
- Tokyo Institute of Technology, Precision and Intelligent Laboratory, Assistant Professor
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- HIGO Yakichi
- Tokyo Institute of Technology, Precision and Intelligent Laboratory, Professor
Bibliographic Information
- Title
- マイクロサイズ曲げ試験によるMEMS用厚膜レジストSU-8の塑性変形挙動
- Author
- 石山 千恵美, 松崎 純平, 肥後 矢吉
Journal
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- 第54回高分子討論会予稿集 54・2
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第54回高分子討論会予稿集 54・2 4837-4838, 2005
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1010000781941745408
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- Article Type
- journal article
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- Data Source
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- KAKEN