Electrical and Structural Evaluations of Ultrathin SiGe and Ge-on-insulator Fabricated Using Ge Condensation by Dry Oxidation

書誌事項

タイトル
Electrical and Structural Evaluations of Ultrathin SiGe and Ge-on-insulator Fabricated Using Ge Condensation by Dry Oxidation
著者
H. Yang, D. Wang, H. Gao, K. Hirayama, K. Ikeda, S. Hata, H. Nakashima, H. Nakashima

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詳細情報

  • CRID
    1010000782026200600
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN

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