Preliminary Investigation on Pulse Laser Deposited AlN for FBAR Application
Bibliographic Information
- Title
- Preliminary Investigation on Pulse Laser Deposited AlN for FBAR Application
- Author
- Z.P.Wang, 他2名
Journal
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- 電気学会プラズマ研究会資料
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電気学会プラズマ研究会資料 2011
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1010000782134178570
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- Article Type
- journal article
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- Data Source
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- KAKEN