アナログバウンダリスキャンを用いた三次元積層後のTSV 抵抗の精密計測法の実装について
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- Takahashi Hiroshi
- 愛媛大学
Bibliographic Information
- Title
- アナログバウンダリスキャンを用いた三次元積層後のTSV 抵抗の精密計測法の実装について
- Author
- 王 森レイ, 香川 敬祐, 亀山 修一，樋上 喜信, 高橋 寛
Journal
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- 電子情報通信学会技術研究報告
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電子情報通信学会技術研究報告 115 1-6, 2015
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1010000782247461763
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- Article Type
- journal article
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- Data Source
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- KAKEN
