アナログバウンダリスキャンを用いた三次元積層後のTSV 抵抗の精密計測法の実装について
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- 高橋 寛
- 愛媛大学
書誌事項
- タイトル
- アナログバウンダリスキャンを用いた三次元積層後のTSV 抵抗の精密計測法の実装について
- 著者
- 王 森レイ, 香川 敬祐, 亀山 修一，樋上 喜信, 高橋 寛
収録刊行物
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- 電子情報通信学会技術研究報告
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電子情報通信学会技術研究報告 115 1-6, 2015
