Damage characterization of low-k layers through Cu damascene process using monoenergetic positron beams

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タイトル
Damage characterization of low-k layers through Cu damascene process using monoenergetic positron beams
著者
A.Uedono, et al.

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詳細情報

  • CRID
    1010000782466252565
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN

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