Damage-free improvement of thickness uniformity of quartz crystal wafer by plasma chemical vaporization machining

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タイトル
Damage-free improvement of thickness uniformity of quartz crystal wafer by plasma chemical vaporization machining
著者
Kazuya Yamamura, et al.

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詳細情報

  • CRID
    1010282257011688968
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN

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