弾性案内を用いた超精密平面位置決め機構の動特性と制御
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- FUKADA Shigeo
- Shinshu University
Bibliographic Information
- Title
- 弾性案内を用いた超精密平面位置決め機構の動特性と制御
- Author
- 松田智明, 深田茂生, 西村建太郎
Journal
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- 2008年度精密工学会北陸信越支部学術講演会講演論文集
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2008年度精密工学会北陸信越支部学術講演会講演論文集 99-100, 2008
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1010282257021609220
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- Article Type
- journal article
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- Data Source
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- KAKEN