Finishing of EUV photomask substrates by CNC precessed bonnet polisher
書誌事項
- タイトル
- Finishing of EUV photomask substrates by CNC precessed bonnet polisher
- 著者
- A. Beaucamp
収録刊行物
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- Proc. SPIE
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Proc. SPIE 8880 2013
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詳細情報
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- CRID
- 1010282257412534805
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- 資料種別
- journal article
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- データソース種別
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- KAKEN