Room-Temperature Epitaxial Growth of High Quality AIN on SiC by Pulsed Sputtering Deposition

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タイトル
Room-Temperature Epitaxial Growth of High Quality AIN on SiC by Pulsed Sputtering Deposition
著者
K. Sato

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詳細情報

  • CRID
    1010282257417758491
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN

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