低速電子誘起反応とトンネル反応を利用したシリコン半導体薄膜の極低温合成
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- 佐藤 哲也
- 山梨大学
書誌事項
- タイトル
- 低速電子誘起反応とトンネル反応を利用したシリコン半導体薄膜の極低温合成
- 著者
- 佐藤哲也
収録刊行物
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- 山梨大学機器分析センター年報 vol.5
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山梨大学機器分析センター年報 vol.5 11-18, 2006