異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用(監修:益一哉・年吉洋・町田克之)、第7章「ナノポーラスシリコンとそのデバイス」

書誌事項

タイトル
"異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用(監修:益一哉・年吉洋・町田克之)、第7章「ナノポーラスシリコンとそのデバイス」"
著者
越田信義・小山英樹
出版者
  • シーエムシー出版

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詳細情報

  • CRID
    1020282257170419328
  • タイトル言語コード
    ja
  • データソース種別
    • KAKEN
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